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張江實(shí)驗室(中國科學(xué)院上海高等研究院)硅光子市級重大專(zhuān)項200mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開(kāi)發(fā)晶圓自動(dòng)清洗系統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目中標公告 2019年04月24日 上海 中標結果

發(fā)布時(shí)間:2019-04-26 09:36
作者:格瑞戴西



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招標正文


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公告概要:

公告信息:
采購項目名稱(chēng)張江實(shí)驗室( (略) 上 (略) )硅光子市級重大專(zhuān)項 * mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開(kāi)發(fā)晶圓自動(dòng)清洗系統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目
品目貨物/通用設備/電子和通信測量?jì)x器/元件器件參數測量?jì)x/集成電路參數測量?jì)x
采購單位(略) 上 (略)
行政區域(略) 市公告時(shí)間* 日 * : *
(略) 日期* 日中標日期* 日
評審專(zhuān)家名單沈培堅、談進(jìn)、張惠芬、張軒雄、李斌
總中標金額¥ * . *** 萬(wàn)元(人民幣)
聯(lián)系人及聯(lián)系方式:
項目聯(lián)系人趙麗莉
項目聯(lián)系電話(huà)* - * - *** × *
采購單位(略) 上 (略)
采購單位地址(略) 市 (略) 區??坡?* 號
采購單位聯(lián)系方式陳潔 ***
代理機構名稱(chēng)(略) 有限公司
代理機構地址中國 (略) 西路 * 號美麗園大廈 * 樓
代理機構聯(lián)系方式趙麗莉 * - * - *** × *

   (略) 有限公 (略) 上 (略) 的委托,就“張江實(shí)驗室( (略) 上 (略) )硅光子市級重大專(zhuān)項 * mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開(kāi)發(fā)晶圓自動(dòng)清洗系統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目”項目(項目編號: *** )組織采購,評標工作已經(jīng)結束,中標結果如下:

* 、項目信息

項目編號: ***

項目名稱(chēng):張江實(shí)驗室( (略) 上 (略) )硅光子市級重大專(zhuān)項 * mm硅光中試平臺拓展和成套工藝開(kāi)發(fā)晶圓自動(dòng)清洗系統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目

項目聯(lián)系人:趙麗莉

聯(lián)系方式: * - * - *** × *

* 、采購單位信息

采購單位名稱(chēng): (略) 上 (略)

采購單位地址: (略) 市 (略) 區??坡?* 號

采購單位聯(lián)系方式:陳潔 ***

* 、項目用途、簡(jiǎn)要技術(shù)要 (略) 日期:

本次采購貨物為:晶圓自動(dòng)清洗系統: * 臺/套,用于高溫氮化硅介質(zhì)膜熱生長(cháng)、 * 氧化硅介質(zhì)膜熱生長(cháng)工藝前的清洗,化學(xué)液包括DHF、SPM、SC1、SC2;晶圓片噴霧清洗設備: * 臺/套,用于干法刻蝕、離子注入去膠后的清洗,化學(xué)液包括DHF、SPM、SC1。

* 、采購代理機構信息

采購代理機構全稱(chēng): (略) 有限公司

采購代理機構地址:中國 (略) 西路 * 號美麗園大廈 * 樓

采購代理機構聯(lián)系方式:趙麗莉 * - * - *** × *

* 、中標信息

招標公告日期: * 日

中標日期: * 日

總中標金額: * .0 萬(wàn)元(人民幣)

中標供應商名稱(chēng)、聯(lián)系地址及中標金額:

序號中標供應商名稱(chēng)中標供應商聯(lián)系地址中標金額(萬(wàn)元)
1(略) 北方華 (略)(略) 市 (略) 經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區 (略) 大道8號* . ***

本項目招標代理費總金額:5. * 萬(wàn)元(人民幣)

本項目招標代理費收費標準:

根據國家發(fā)改委 * 號文貨物類(lèi)標準收費下浮 * %后收取。

評審專(zhuān)家名單:

沈培堅、談進(jìn)、張惠芬、張軒雄、李斌

中標標的名稱(chēng)、規格型號、數量、單價(jià)、服務(wù)要求:

晶圓自動(dòng)清洗系統: * 臺/套;規格型號:Bpure-WE * AHF : *** . * 元;

晶圓片噴霧清洗設備: * 臺/套;規格型號:Bpure-WC * ARC: *** . * 。

* 、其它補充事宜




溫馨提示:本招標項目?jì)H供付費會(huì )員查閱,您的權限不能瀏覽詳細信息,聯(lián)系工作人員辦理會(huì )員入網(wǎng)事宜,成為正式會(huì )員后方可獲取詳細的招標公告、報名表格、項目附件及部分項目招標文件等。
聯(lián)系人:郝工
電話(huà):010-68960698
郵箱:1049263697@qq.com


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